上海人工智能實驗室近日聯合多家科研單位,利用“書生”科學大模型與自動化研發平臺,成功攻克了高端KrF光刻膠樹脂的穩定製備難題。這一進展標誌着我國在芯片核心材料領域取得了重大突破,相關產品的產業關鍵指標均已達到預期。

光刻膠樹脂的研製長期以來依賴人工經驗,研發人員需在數以千計的配比和反應條件中反覆試錯。這種傳統的研發模式不僅效率低下,且極易受到操作誤差影響,難以保證量產芯片所需的高度穩定性。

AI驅動閉環研發

科研團隊通過構建“AI決策+自動化合成”的閉環體系,實現了從實驗方案生成到自動化後處理的全流程運行。該平臺採用精密控制技術,將成品樹脂的金屬雜質含量穩定控制在極低水平,顯著提升了材料的純度與一致性。

藉助AI模型的自我進化能力,研發團隊成功實現了從“經驗主導”向“數據驅動”的研發轉型。實驗產生的關鍵數據會自動回傳至大模型,驅動算法持續優化下一輪方案,從而大幅縮短了高端材料的開發週期。

擺脫海外供應依賴

此次技術突破使得高端光刻膠樹脂的製備不再依賴少數國外供應商的“黑箱能力”,爲全球芯片材料研發探索出一條標準化路徑。目前,相關成果已進入客戶端驗證階段,爲提升我國半導體產業鏈的自主性奠定了堅實基礎。

這一科研成果展示了人工智能在底層科學發現中的巨大潛力,也預示着AI原生工作流將深度重構材料科學領域。未來,這種高度模塊化的智能化合成平臺,將持續推動更多核心半導體材料實現技術突圍。